《表5 能量色散型X射线荧光光谱仪核心部件功能》

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《《冶金产品分析方法X射线荧光光谱法通则》最新标准解读》

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备注：常用的探测器为半导体计数器，例如高能量分辨率硅（锂）X射线探测器，能量分辨率大都在135eV～145eV。

能量色散X射线荧光光谱法仪主要核心部件由X射线管、准直器、探测器组成。能量色散型X射线荧光光谱仪各个部件的功能见表5。