《表1 0 高沸塔塔顶气体检测数据(10-6)》

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高沸塔的作用是将比SF6沸点高的物质与SF6进行有效的分离,表10为各个气体厂家在连续多天内该处气体的检测情况。由结果可以看出,高沸塔顶部的主要杂质为O2和N2,其中SO2F2被除尽。