《表2 不同沉积压力下不同薄膜的化学成分》

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《磁控溅射不同元素掺杂WS_2薄膜的组织和纳米压痕力学性能》

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薄膜从真空室取出后表面会发生氧化反应，因此将EDS分析结果去除氧元素后进行归一化处理，得到的化学成分如表2所示。WS2薄膜和Ti/WS2复合薄膜中，硫与钨的原子比均接近2(WS2的化学计量比），而在La-Ti/WS2复合薄膜中，二者的原子比降低至1.40左右，与WS2的化学计量比相差较大。稀土元素镧的掺杂显著降低了薄膜中硫与钨的原子比，因为镧具有脱硫净化作用。较低的硫钨原子比意味着薄膜中硬质钨相含量增加，这有利于提高薄膜的硬度[21]。