《表1 AZ4562曝光强度和光栅高度的关系》

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《用于全息波导的阶梯光栅设计》

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研究选用正性光刻胶制备设计的三阶光栅。调研了EXP-1500和AZ4562两种正性光刻胶，选用折射率比较接近1.52的AZ4562。采用不同的曝光强度加工一批试样，并采用蔡司公司的激光共聚焦显微镜LSM700进行测试，其光栅高度和曝光强度之间的关系如表1所示。