《表2 位移量测量结果统计（单位：nm)》

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《基于ZYNQ的用于间隙测量的白光干涉信号处理系统》

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随后分别固定掩模与基片。在每次测量过程中，通过调整压电位移台使基片移动固定距离，并在基片移动前后分别进行间隙测量，以实现对位移量的测量，并分析系统对位移量的测量精度。表2为位移量的测量结果统计。