《表3 真空度的提高对膜层电阻特性的影响》

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在In靶两边将1300型的分子泵改装为2000型分子泵，抽气速率由1 300 L/s提升至2 000 L/s，保证In靶处真空度。真空度的提高对膜层电阻特性的影响（>4 000 MW）见表3。