《表1 微压电驱动器仿真采用的材料属性》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《基于Si弹性层优化的悬臂梁式微压电驱动器》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

图1为悬臂梁式微压电驱动器模型设计图，图中显示其整体结构从上至下依次为Si反射镜、上部Au电极层、PZT-5H压电层、中部Au电极层、Si弹性层和底部Au电极层。其中Si反射镜尺寸为5 mm×5 mm×0.5 mm，上部Au电极层尺寸为15 mm×5 mm×0.01 mm，压电层尺寸为15 mm×5 mm×0.3 mm，中部和底部Au电极层尺寸均为20 mm×5 mm×0.01 mm，Si弹性层长20 mm，宽5 mm，厚度设为h，为获得更好的尖端位移输出，将通过仿真确定该微驱动器Si弹性层的最佳厚度。其中PZT-5H、Si层和Au层的材料属性如表1所示，PZT-5H的弹性模量C11和C12分别为120.3和80.2 GPa，压电常数e31为-5.4 C/m2，相对介电常数ε33为1 433.6，真空介电常数ε0为8.85×10-12 F/m。