《表2 不同样品的硬度：可见光波段Si_xN_y/SiO_2硬质增透膜的研制》

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《可见光波段Si_xN_y/SiO_2硬质增透膜的研制》

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按照上述三种设计方案在完全相同的实验条件下制备薄膜，将制备好的样品按P从低到高依次标记为1～3号。硬度的测试方法包括莫氏硬度、维氏硬度等，不同方法得到的结果之间没有明确的换算关系，实验采用纳米压痕法测试薄膜硬度，结果如表2所示。