《表4 超声波和加热对刻蚀铜速度的影响》

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《电化学沉积工艺的优化》

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为了进一步缩短刻蚀铜工艺的时间，本文对超声振动和加热对刻蚀速度的影响进行了实验，结果如表4所示。由表4可知，超声波和加热都能够增加刻蚀的速度且不伤害结构，通过超声振动能够将刻蚀铜速度提升67.7%，升温10℃能够将刻蚀速度提升16.1%，且超声振动和升温10℃对镍的刻蚀速度无明显影响。