《表7 不同厚度Hf O2薄膜的折射率和消光系数Tab.7Refractive index and extinction coefficient of Hf O2thin films with dif
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光谱椭偏不仅能够确定薄膜的厚度还能够得出薄膜的光学常数，这里将不同薄膜的厚度与光学常数进行了比较，结果如表7所示。由于折射率会随波长而发生变化，因此选择激光波长（632.8 nm）为测量波长。
| 图表编号 | XD0017624600 严禁用于非法目的 |
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| 绘制时间 | 2018.03.01 |
| 作者 | 张寅辉、任玲玲、高慧芳、刘小萍 |
| 绘制单位 | 中国计量科学研究院纳米新材料计量研究所、太原理工大学表面工程研究所、中国计量科学研究院纳米新材料计量研究所、中国计量科学研究院纳米新材料计量研究所、太原理工大学表面工程研究所 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
