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《表1 浸没式光刻投影物镜设计指标及要求》
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《超大数值孔径浸没式物镜的研发设计》
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浸没式光刻投影物镜设计指标及要求见表1。
图表编号
XD00175603400 严禁用于非法目的
绘制时间
2020.05.25
作者
刘雅丽
绘制单位
卡尔蔡司(上海)管理有限公司
更多格式
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