《表1 不同主轴转速下划切合格率对比》

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《LTCC基板砂轮划片工艺研究》

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在保证划切速度、砂轮刀片规格相同的情况下，分别用19 000 r/min、21 000 r/min、23 000 r/min、25 000 r/min主轴转速划切同一批次生产并相同数量的Ferro A6M材料基板。表1给出了实验对比结果。结果表明，随着主轴转速的增加，划切合格率从91.45%逐渐下降到79.06%，基板不合格的主要原因是基板背面崩边。说明随着主轴转速的增加，主轴抖动明显，引起基板背面崩边严重。当主轴转速略低于19 000 r/min时，划切合格率变化不大，但当转速继续降低时，基板崩边明显，合格率迅速下降，所以，建议使用19 000 r/min作为最佳主轴转速。