《表3 基板材料在80℃硝酸中浸泡30 h后的失重情况Tab.3 Weight loss of different substrates in HNO3solutions at 80℃for 30 h

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《LTCC基板材料耐酸蚀性能研究》

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采用硝酸溶液对四种基板材料的耐酸蚀性能进行考察，在相同条件下各个基板材料腐蚀后的单位面积失重量如表3所示。由表3中数据可知，S1的腐蚀失重最为明显，S2次之，S3、S4的单位面积失重量远低于S1、S2；随着H+浓度增加，四种基板材料的单位面积失重量均呈现逐渐增加的趋势，当H+浓度超过1 mol/L时，单位面积失重量维持在一定范围内。