《表2 钢丝镀膜前后EDS成分检测对比 (摩尔分数/%) Tab.2 EDS results before and after coating》

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《渗硼镀膜法制备TiBN薄膜的电子导电性及其潜在应用前景》

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用EDS对原始钢丝和镀膜钢丝进行了成分半定量对比测试。图4和图5显示原始钢丝和镀膜钢丝点分析元素谱线，在图4中出现的谱线有Fe，Cr，M n，Ni，C，O和Si，这些元素含量的半定量检测结果分别是28.39%，8.6%，0.59%，3.04%，54.08%，4.93%和0.37%，如表2所示，与AISI3O4不锈钢成分基本相符，其中Fe，Cr，Mn，Ni，C是不锈钢的主要成分元素，O和Si是杂质元素。而图5显示的镀膜不锈钢的成分除了Fe，Cr，M n，Ni，C，O和Si元素谱线外，还有Ti和N的元素谱线，说明在钢丝表面形成了TiBN薄膜，它们的含量分别是摩尔分数4.72%和30.01%，表明在TiBN薄膜成分中Ti和N元素占主导地位。受EDS探头检测范围限制，没有检测到B元素。表2显示与这些元素谱线相对应的成分半定量测试结果。