《表3 电子厂房AMC的主要来源》

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《微电子行业洁净室空气化学污染控制》


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AMC的来源主要分室内和室外,室外主要是补充新风带来,室内是工艺设备、生产操作人员,建筑材料等[5],具体如表3[6]所示。