《表2 周边振荡磨削法加工参数》

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《沉孔底面超精密加工工艺研究》

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周边振荡磨削法加工如图3所示。使砂轮轴心线与沉孔轴心线成2°夹角，使砂轮端面与沉孔底面形成线状接触，并且砂轮在径向来回振荡，保证沉孔底面加工表面呈环形磨削纹理，同时可以避免砂轮自身形状精度影响沉孔底面的平面度。周边振荡磨削法加工的精度完全取决于机床自身精度和振荡频率，经过对加工参数进行反复试验，得到周边振荡磨削法加工参数，见表2。