《表2 反射系数的理论值与测量值的对比》

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《超声波测膜厚技术的精度标定研究》

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利用图3的标定装置可得3种材质板与水膜分界面处反射系数的实际测量值，并与式（2）计算的理论值对比，结果如表2所示。可以看出：反射系数的测量值与计算值非常接近，从反射系数的绝对误差来看，不锈钢-水界面的误差最小（0.008 0），其次是PMMA-水界面（0.025 6），而铝-水界面的误差（0.031 4）略大于PMMA-水界面的；从相对误差来看，不锈钢-水界面的误差仍最小（0.853%），其次是铝-水界面（3.713%），而最大的是PMMA-水界面（6.778%）。这主要是由于界面的反射系数越大，探头接收的声波信号就越强，其测量误差就越小，不锈钢-水界面的反射系数最大（理论值0.937 6），其次是铝-水界面（理论值0.845 7），而PMMA-水界面的反射系数（理论值0.377 7）要远小于不锈钢-水界面。综合表2可知，利用超声波探头测量界面反射系数的精度较高。