《表3 SF6放电分解路径的反应方程式》

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《SF_6在微水微氧下放电分解机理的研究》

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GIS/GIL等气体绝缘设备中的SF6放电分解路径[15-19]反应方程式见表3。从表3可以看出，表3中的SF6的分解是其分子结构中S-F键的断裂形成自由基的过程，且反应1-5全部为吸热反应。反应1发生所需要吸收的能量最高（1 531.19 kJ/mol），反应最不易进行，不能大量发生；而反应4和5所需要吸收的能量分别为545.42、367.78 kJ/mol，所需能量较低，相对反应1-3来说，反应更容易发生。低温等离子大多数电子能量在416.3～1 056.2 kJ/mol，所以反应1和2需要高能粒子的参与[20]。