《表1 二极管部分参数及尺寸（》

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《基于商用肖特基二极管的190 GHz二倍频器设计》

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（单位：μm)

在对肖特基二极管的物理尺寸及参数所知较少的情况下，需要利用各种可能的手段来估算，例如通过显微镜观测获取外形、欧姆接触焊盘、阳极手指长度等尺寸。而无法通过光学显微镜测量的参数，如外延层尺寸、缓冲层尺寸等，可以通过查阅、统计国外相关文献报道的肖特基二极管参数来估算（一般工作在同一频段的倍频器所采用的二极管的参数基本接近，尤其是采用相同工艺的情况下）。这些参数在通过测试结果与仿真结果进行对比后进行一定的调整，最终获得相对准确的二极管参数。通过光学显微镜测量获得的外形尺寸如图2所示。表1则给出了外延层、钝化层等尺寸的估算值。