《表3 样品参数默认取值：电介质与聚合物薄膜电子束诱导电导特性》

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《电介质与聚合物薄膜电子束诱导电导特性》

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模拟中的电子束参数与表2相一致。数值计算时，SiO2样品的电子迁移率取10-2cm-3s-1，PMMA样品取10-7cm-3s-1[16-17]，其它模拟样品参数如表3。