《表3 BL-SGT与已有SGT器件性能对比》

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《一种具有Buffer层的分离栅VDMOS研究》


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表3比较了BL-SGT VDMOS与已有SGT VDMOS的功率优值,从表中可以看出,BL-SGT VDMOS的功率优值达到了504 k W·mm-2,较已有器件有了明显的提升,增幅均高于30%,这表明引入根据式(4)设计的Buffer层能够显著增强器件性能。