《表1 误差辨析结果：片层体积无损测量装置误差分析与补偿研究》

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《片层体积无损测量装置误差分析与补偿研究》

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获取误差补偿参数，需要对实验装置误差模型进行辨析，实验装置经误差传递，几何误差体现在夹具的位移偏差。以Z轴位移为基准，采用两只数显千分表对夹具跟踪测量，如图6所示。对X、Y、Z轴进行位移误差辨析时，分别将千分表对准夹具侧面和底面，在测量中不改变其自身位置和测量点位置。千分表量程12.7mm，夹具高度100mm，运动平台重复精度为±5μm、精密千分表出重复精度为±2μm、光栅测距仪重复精度为±2μm。受限于测量仪器灵敏度和量程，光栅尺控制运动平台位移速度10μm/s，每次位移量10mm，每组分10次测量，对每项误差进行6组数据采集。求出角度误差值并取测量平均值，如表1所示。在测量方向上，Z轴角度误差对片层厚度值无关，忽略该项辨析。