《表1 六方氮化物拉曼测量几何配置及对应的声子模式》

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《拉曼光谱在第三代半导体材料测试领域的应用》

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在拉曼光谱测量中，常用的几何配置为背散射配置，即入射光与散射光方向相反。当入射光入射（0001）表面时，只有E2声子及A1（LO）声子从几何对称角度是允许的，具体测到的峰还要参考入射光与散射光的偏振情况。当入射光与散射光偏振平行时，E2峰及A1（LO）峰都可以测到；到入射光与散射光偏振垂直时，只能测到E2峰。测量几何配置与对应声子的情况如表1所示。