《表4 不同腐蚀工艺MCP制管后对比测试数据》

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《碱腐蚀工艺对微通道板性能的影响研究》

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对比了两个段号分别采用不同腐蚀工艺下制管后的测试数据，对不同碱作用时间腐蚀后的微通道板性能作最终评价。如表4所示。可以看到相比于较长时间的碱蚀工艺（工艺3），缩短碱蚀时长工艺（工艺3）处理的MCP在像管测试中展现出更高的增益性能。而噪声系数相比，两种腐蚀工艺并没有明显的差异。分析原因，增益的提高主要是由于缩短碱蚀时长后，通道内部碱金属流失量减少，二次电子发射系数提高，与前文结果一致。MCP噪声系数与内壁粗糙度和表面碱金属的状态有较大的关联，其中内壁粗糙度增加可能造成其表面较多的气体吸附，这些气体在高电压下发生电离并沿电场的反方向被加速到通道的输入端，并有机会碰撞光电阴极或通道内壁导致产生附加电子，这些附加电子在通道电场的作用下再次产生附加的二次电子，进而带来离子反馈噪声。同样对于附着在通道表面原子半径较小的碱金属离子，也会受工作电压影响，在通道内壁迁移脱附，造成类似的离子反馈。上文结果中看到，两种腐蚀工艺处理的MCP，在像管测试结果中的噪声系数并未提高，一方面由于通道内壁粗糙度并没有明显差异，另一方面则反映出，减少碱蚀时长后，通道内壁表面相对丰富的碱金属在工作电压下并未发生明显的迁移。这表明通过减少碱蚀时长的方式来处理微通道板，不会增加像管在工作条件下的离子反馈。