《表1 调焦及聚焦分析：一种基于偏转镜的激光空间合束方法研究》

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《一种基于偏转镜的激光空间合束方法研究》

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本文中选用的某音圈电机，最大加速度可达到920m/s2，总行程为30 mm。驱动器的位置反馈来自于Heidenhain直线光栅反馈，经过细分模块，理论分辨率可达到0.12 nm，同时，电机控制及驱动模块根据激光测距信息，计算相应的位移距离，实现聚焦镜组的快速、准确定位，通过对调焦及聚焦单元进行Zemax仿真分析，其理论聚焦光斑大小及调焦位置如表1所示，通过分析可知，50~1000 m焦距调整量为20.239 mm。