《表1 KCK20和KCK20B各子层的平均厚度及涂层总厚度》

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《TiN/TiCN/Al_2O_3/TiN与TiN/TiCN/Al_2O_3/TiCNO多层涂层的组织性能比较》

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图2为KCK20和KCK20B涂层的表面和截面形貌。KCK20的顶层TiN晶粒为柱状晶（图2c），而KCK20B的顶层TiCNO晶粒细小，呈细针状，局部晶粒堆垛成簇状结构（图2b）。综合XRD和SEM分析，可以证实KCK20和KCK20B都包含四层，KCK20从底层到顶层分别为Ti N、Ti CN、Al2O3和Ti N，KCK20B有类似的涂层结构，不过其顶层为TiCNO层。根据元素分布曲线和截面形貌，测量了各子层的平均厚度，如表1所示。KCK20和KCK20B各子层的厚度相差不多，顶层厚度分别为2.12μm和2.42μm。