《表3 多晶硅的材料参数》

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《三维微机电系统声发射传感器设计及性能分析》

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所分析的z方向响应传感单元的上极板直径为100μm，上极板厚度a为2μm。采用ANSYS软件，网格划分选用自动划分方式，局部进行细化，所得的网格单元最小边值为2×10-3mm。传感单元的材料为多晶硅（PolySi），表3是多晶硅的材料参数。