《表1 主要实验设备与测试仪器》

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《G7铸锭炉双电源温度控制工艺研究》

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本实验使用的多晶硅铸锭炉为中电科电子装备集团有限公司（下文简称”CETC”）研发生产的R131200-1/UM型G7铸锭炉，其采用全新的双电源加热温度控制方式，为顶部和侧面5面加热器结构，加热过程中可独立控制顶部和侧面的石墨加热器。实验选用同一厂家同一规格的G7石英坩埚，铸锭投料重量均为1150 kg，均使用多线剖方机将G7多晶硅锭剖开成49块硅方，如图1所示。主要实验设备与测试仪器如表1所示。