《表1 单层、双层和三层减反射膜厚度最佳时在不同波段下的平均反射率》
为进一步探索降低SHJ电池表面光学反射的可能性,在SiNx/IWO双层减射薄膜的基础上导入SiOx/SiNx/IWO多层薄膜。SiNx薄膜的折射率为1.75,SiOx薄膜的折射率为1.46,介于空气和SiNx薄膜之间,满足多层减反射膜的设计要求。对于三层减反射薄膜,在全谱波长范围内存在3个极小值点,而且极小值点附近的反射率较低,因此全光谱的反射率有望进一步降低。表1对比了80 nm IWO、60 nm SiNx/80 nm IWO、90 nm SiOx/30 nm SiNx/60 nm IWO叠层在5个不同波段下平均反射率。与单层IWO薄膜相比,双层和三层减反射膜反射率降低的波段主要分布在300~400 nm及600~1100nm这2个波段内。其中短波段SiNx/IWO和SiOx/SiNx/IWO叠层的平均反射率分别降低了6.3%和10.08%。近红外波段内经过优化后分别降低至2.22%和2.13%,最终SiOx/SiNx/IWO三层减反射膜在整个可见光光谱范围内平均反射率由7.94%降至5.57%,表现出较好的减反效果。
图表编号 | XD00139658800 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2020.02.28 |
作者 | 周杰、俞健、马忠权、刘正新 |
绘制单位 | 上海大学理学院、中国科学院上海微系统与信息技术研究所、中国科学院上海微系统与信息技术研究所、上海大学理学院、中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
更多格式 | 高清、无水印(增值服务) |