《表5 各主加工区不同标准区间组合（区间值一）》

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《并行半导体生产线投料控制策略研究》

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在确定各主加工区关系之前，首先采用试凑法确定各主加工区利用率的区间值，通过不同区间值进行仿真，从而挖掘各主加工区之间的关系。对主加工区利用率区间值进行分析，分别定为区间值一、区间值二、区间值三。其中区间值一：6PH1加工区是[0.7，0.8]、[0.8，0.9]，6DH1、6ET1、6ET2是[0.8，0.9]和[0.9，1]的排列组合；区间值二：6PH1加工区是[0.75，0.8]、[0.8，0.85]，6DH1、6ET1、6ET2是[0.85，0.9]和[0.9，0.95]的排列组合；区间值三：6PH1加工区是[0.78，0.8]、[0.8，0.82]，6DH1、6ET1、6ET2是[0.88，0.9]和[0.9，0.92]的排列组合。以区间值一为例，具体的区间值组合见表5。