《表2 关键部件主要技术参数》

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《高频真空电磁感应脉冲渗碳装置及其应用》

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该装置的气源控制系统主要由复合真空机、分子泵控制器、双级旋片式真空泵、三项异步电机和分子泵组成的分子泵机组与三路质量混气系统、气体电磁阀、石英管、PLC和压力传感器等组成。气源控制系统主要功能为实现渗碳前的洗气、抽真空、混合渗碳气氛和控制渗碳过程中石英管内气氛压强，该系统的主要作用是保证整个渗碳过程实际压强与设定压强误差为±1 k Pa，满足渗碳过程对于压强的要求，主要部件参数如表2所示。