《表2 氟硅酸盐分解温度及其产物》

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《四氟化硅生产工艺研究进展》

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张越强等[13]提出一种热解BaSiF6制取SiF4的方法，该方法通过对干燥后的BaSiF6在100℃的真空环境下进行烘干，再将温度上升到200℃进行热分解。该方法对于热解BaSiF6温度的要求比热解Na2SiF6要低，从而对于能源的消耗要低许多。J.Zachara等[14]对不同氟硅酸盐的热解所需温度及其产物作了对比及归纳，如表2所示。