《表1 掩模台自由度行程范围》

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《基于平面光栅尺的掩模台位置误差分析与验证》

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本次模型仿真使用MATLAB软件，根据（1）式建立理想位置与测量位置模型，具体过程如下：设置掩模台处于不同姿态，利用测量系统测量掩模台不同姿态引起的X、Y位置变化，再用最小二乘法多次循环测校，拟合掩模台平面光栅尺测量模型的相应系数，以达到消除姿态变化对掩模台X、Y和Rz位置影响的目的。表1是仿真下的掩模台三自由度范围。其中每个姿态下测量的次数为30次，并且水平向（X和Y）的重复性为3nm，水平向伺服精度为5nm。