《表5 不确定度分量来源:基于白光干涉仪的轴尖表面粗糙度检测技术研究》

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《基于白光干涉仪的轴尖表面粗糙度检测技术研究》


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注:表中u1与u2为各自独立的分量。

不确定度各分量来源见表5。