《表1 两种涂层制备工艺参数对比》

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《两种DLC涂层对ZL108铝合金干式铣削性能的影响》

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实验采用等离子体增强化学气相沉积（型号ICS-04 ARC PRO）和磁控溅射物理气相沉积（设备型号PLASMAADS 400），基材为硬质合金试样及硬质合金铣刀（硬质合金牌号为YG10C，试片尺寸为16 mm×16 mm×3 mm，表面粗糙度Ra为0.6μm，硬度为86HRA，铣刀尺寸为?10 mm×30 mm×75L，两刃45°），在基材表面沉积含氢和无氢DLC涂层。对YG10C硬质合金试片和铣刀涂覆之前，需对其进行酒精清洗、蒸馏水清洗。最后在丙酮溶液中进行40～50 min的超声波清洗，清洗结束后，放入烘干室进行烘干处理，确保基材和刀具表面无油渍、锈斑、水渍等影响涂层沉积的因素。烘干后，将其采用专用夹具装夹送入真空炉腔内，两种涂层制备工艺和参数对比见表1。