《表1 晶棒退火前后加工不良率(终检)》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《一步法消除蓝宝石晶体材料的内部应力》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

蓝宝石晶棒的外观颜色在退火前后发生了根本性的变化，退火前，蓝宝石呈现微浑浊、深暗色（图2(a）)；退火后，蓝宝石内部澄清透明（图2(b）)。经透过光谱测试，见图3，未退火的蓝宝石晶片透过率82%，退火后提高到86%（样品厚度0.84 mm）。此外，经过几年来蓝宝石加工企业就晶棒退火前后品质验证（表1）:不事先退火处理，晶棒加工成晶片，晶片的warp不良率为0.86%，bow不良率为2.96%；经退火处理后，晶片的warp不良率为0，bow不良率为0.9%，不良率分别降低了100%和70%。由上述数据可知，该一步法退火工艺对蓝宝石晶棒的晶片加工和光学透过率有明显的改善。