《表3 掺Al浓度对AZO薄膜性能的影响Table 3 Effect of Al concentration on the properties of AZO thin films》

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《掺铝氧化锌(AZO)薄膜的应用及研究评述》

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因此，选择合适的Al浓度对制备高质量的AZO薄膜来说非常重要。Jeong等[26]实验发现AZO薄膜的禁带宽度先增加后减小，当Al含量为4wt.%时，禁带宽度最大。王志勇等[27]采用聚丙烯酰胺凝胶法制备Al掺杂ZnO（AZO）前驱体，发现当Al掺杂浓度为5.5%（摩尔分数）时，紫外吸收波长最短，达367nm（3.38eV），禁带宽度的变化与Jeong等的结果是一致的。对于Al浓度的影响，其他人也对其进行了研究，结果如表3所示。