《表2 不同掺杂浓度的Ta∶TiO2薄膜的方块电阻、导电率及可见光透过率Table 2 Sheet resistance, conductivity and transmittance in visu
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《钽掺杂二氧化钛薄膜的溶胶-凝胶法制备及光电性能调控》
同样掺杂浓度下,氢气退火后电阻率约降低了1个数量级,可见氢气退火对于改善薄膜形貌、降低缺陷密度[17]、提高性能具有重要影响。由于钽相比于铌具有更好的晶格溶解度、更低的有效电子质量进而具有更高的迁移率,有潜力替代Nb∶TiO2薄膜成为更好的透明导电氧化物材料。
图表编号 | XD0010546400 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2018.02.20 |
作者 | 李雯、徐刚、汪建勋、韩高荣、宋晨路 |
绘制单位 | 浙江大学硅材料国家重点实验室材料科学与工程学系、浙江大学硅材料国家重点实验室材料科学与工程学系、浙江大学硅材料国家重点实验室材料科学与工程学系、浙江大学硅材料国家重点实验室材料科学与工程学系、浙江大学硅材料国家重点实验室材料科学与工程学系 |
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