《表2 不同掺杂浓度的Ta∶TiO2薄膜的方块电阻、导电率及可见光透过率Table 2 Sheet resistance, conductivity and transmittance in visu

《表2 不同掺杂浓度的Ta∶TiO2薄膜的方块电阻、导电率及可见光透过率Table 2 Sheet resistance, conductivity and transmittance in visu   提示:宽带有限、当前游客访问压缩模式
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《钽掺杂二氧化钛薄膜的溶胶-凝胶法制备及光电性能调控》


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同样掺杂浓度下,氢气退火后电阻率约降低了1个数量级,可见氢气退火对于改善薄膜形貌、降低缺陷密度[17]、提高性能具有重要影响。由于钽相比于铌具有更好的晶格溶解度、更低的有效电子质量进而具有更高的迁移率,有潜力替代Nb∶TiO2薄膜成为更好的透明导电氧化物材料。