《表1 理论值与试验值的相对误差》

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《透射光栅位移传感器中光栅副Yaw向夹角误差的影响和监测》

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图14、图15所示分别为图12、图13中数值仿真数据与实测数据之间的差值。图14、图15反映了仿真与试验测量得到的利萨如图形离心率和倾斜角的符合程度。可用式（20）、式（21）分别计算得出仿真与试验测量得到的利萨如图形的离心率相对误差Δei和倾角相对误差Δαi（见表1），分别为：