《表3 康宁公司研发适用LTPS制程的玻璃基板理化及工艺性能》

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《基于LTPS制程工艺的LCD/OLED显示用玻璃基板发展综述》


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2008年,美国康宁公司在玻璃理化性能和工艺性能之间获得平衡,开发了第一款符合LTPS制程的玻璃基板,其商品名称为JadeTM Glass[42](见表3),其应变点温度高达741℃,比a-Si制程的Eagle XG玻璃基板应变点温度高75℃,可以满足LTPS制程工艺的LCD面板客户要求[43]。