《表1 七级IWG滤波器的结构尺寸(单位:mm),波导宽a=4mm》
本文采用低温共烧陶瓷制作该滤波器,介点常数5.7,厚度188μm,损耗角正切0.002,要求通带35-36GHz,在34-37GHz外能提供50dB的衰减。使用半波导波长的IWG做串联谐振器,且,侧壁使用金属化通孔,级间的耦合通过金属化凹槽或金属化通孔形成的并联电感实现,它们的作用相当于K变换器,在LTCC工艺中实现K变换器的方法很多,本文采用金属化凹槽实现K变换器。相对金属波导其并联感抗Xj,j+1不变,仍为,折扣K变换器引入的电长度半波导谐振腔的电长度θj为,槽深贯穿介质基片,槽宽取0.2mm,槽两侧打圆角,槽长由0.2mm的钻头沿直线铣出,若定好第一个槽位,剩下的几个槽位(均是折扣后的半波导段的长度)就能确定下来,工艺上比较好实现。最后的尺寸列于表1、图4中,其中Wi表示从右数起第i个槽的长度,而Li表示从右数起第i个IWG的腔长,且Wi=Wn+2-i,Li=Ln+1-i,n表示滤波器的级数(n为奇数)。如果用金属化通孔做侧壁,孔间距d不能过大,否则会引起场的泄漏,也不能过小,必须保证在LTCC工艺的范围内,取d=2.5r,本文同时对比了金属槽和金属通孔做侧壁的效果,发现两种方式的结果基本吻合,如图5所示,通带插损在5dB内,34-37GHz外都达到了50dB的衰减。
图表编号 | XD00103456200 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2019.10.28 |
作者 | 杨非、王睿 |
绘制单位 | 西南电子设备研究所、西南电子设备研究所 |
更多格式 | 高清、无水印(增值服务) |