《表2 氮化镓和碳化硅现行标准》

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《超宽禁带半导体材料检测标准研究》

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借鉴半导体材料标准化经验，特别是第三代半导体材料，氮化镓和碳化硅。宽禁带半导体材料近几年产业化发展迅速，其相关标准的研究和制定也是近几年半导体材料领域的热点。碳化硅材料，现行6项国家标准和6项行业标准，都是2014年以后发布。氮化镓材料，现行5项国家标准均也都是2014年以后发布。现行碳化硅和氮化镓标准如表2所示。