《表5 图10中各点的化学成分 (原子分数)》

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《CVD法制备钇改性铝化物涂层及其性能》

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图9为钇改性铝化物涂层（水冷）热冲击不同试验次数下的表面照片。图10和表5为钇改性铝化物（水冷）热冲击520次后的表面SEM形貌及成分分析。由图9可以看出，涂层从第20次热冲击开始在边缘部分出现少量剥落现象，随着热冲击次数增加，涂层剥落面积稍有增大后基本不再剥落，从第10次热冲击后就开始出现少量细微裂纹，热冲击次数达到350次以上开始出现密集裂纹。由图10和表5可知，涂层外层剥落位置主要含有氧元素及其他杂质元素，元素分布规律不明显。