《集成电路制造动力学理论与方法》求取 ⇩

第一章集成电路技术经济规律与制造动力学1

一、集成电路发展的技术经济规律2

二、器件按比例缩小与制造灵敏度17

三、电路功能设计向优化设计过渡的必然性27

四、集成电路制造动力学及其分类44

第二章集成电路制造成本模型62

一、经典成本和利润模型62

二、广义前道工序成本模型71

三、广义后道工序成本模型78

四、收入综合与最优化85

一、集成电路的局域缺陷模型93

第三章功能成品率模型与模拟93

二、缺陷统计分布特征100

三、功能成品率模型119

四、关键面积模型与算法132

五、功能成品率模拟139

第四章功能成品率最优化理论与方法149

一、功能成品率与版图设计规则最优化149

二、冗余成品率模型与最优设计158

三、二叉树最佳容错方法172

四、动态缺陷增殖与电路加工最佳分配181

一、参数成品率模型188

第五章参数成品率模型与模拟188

二、Monte Carlo统计分析方法197

三、参数统计分析与统计模型构造方法210

四、集成电路制造工艺宏模型构造方法226

五、电路容差与最不利条件分析248

第六章参数成品率最优化理论和方法261

一、Monte Carlo参数游动类方法261

二、RA几何逼近类方法271

三、极大极小类统计最优化方法284

四、空间分离策略与椭球算法292

一、DCTT统计最优化基础300

第七章DCTT统计最优化300

二、模型及其性质313

三、最佳逼近方法319

四、DCTT进一步策略328

第八章集成电路工艺统计控制336

一、工艺可控性诊断和分析方法336

二、数据获取与控制模型349

三、最优统计控制与IC决策支持系统362

发展与展望369

参考文献372